Optik Profilometre ile 3D Yüzey Topografyası: Temas Etmeden Nanometre Hassasiyetinde Pürüzlülük Ölçümü
Malzeme biliminde yüzey kalitesi sadece görsel bir kriter değildir; aşınma direncini, yağ tutmayı veya boya yapışmasını belirler. Bir yüzeyin "nasıl hissettiğini" kantitatif olarak ölçmek için yüzey pürüzlülüğü ( Roughness ) parametrelerine başvururuz. Bu ölçümleri, numuneye dokunmadan, ışık interferometresi kullanarak nanometre hassasiyetinde yapan ve yüzeyin 3D haritasını çıkaran donanıma Optik Profilometre denir. İnterferometri Mekanizması: Işığın Girişimi Optik profilometrelerin kalbinde, donanımın içine yerleştirilen ve ışığın girişim yapmasını sağlayan Optik Girişimölçer (Interferometer) head'i bulunur. Işık kaynağından çıkan ışık demeti ikiye ayrılır: Bir demet referans bir aynaya, diğer demet numune yüzeyine gönderilir. İki demet geri döndüğünde birleşir ve dedektör üzerinde girişim saçakları (interference fringes) oluşturur. Eğer numune yüzeyinde bir çukur veya tepe varsa, referans demeti ile numune demeti arasındaki yol farkı değişir. Bu yol fa...